Структурно-фазовый состав и трибологические характеристики углеродных покрытий, содержащих фуллерены, полученных с использованием МИП

Литературный перевод. Structural-phase composition and tribological characteristics of fullerenes containing carbonic coatings obtained using high-power ion beams. Elseiver. Surface & Coatings Technology 203 (2009). С. 2608–2611.Тонкие фуллерен-содержащие покрытия были сформированы осаждением на кремниевую подложку аблированной плазмы, которая была получена путем облучения МИП графитовых мишеней различной плотности. Было определено относительное количество кристаллических фаз фуллеренов С60, С70, алмазо-подобного углерода (АПУ), а также содержание аморфного углерода относительно АПУ. Показано, что относительное количество аморфной фазы, отношение между количеством фуллеренов С60:С70 и также содержание АПУ и аморфных фаз зависит от условий осаждения покрытий. Эти условия следующие: плотность ионного пучка, действующего на вращающуюся графитовую мишень определяет плотность и температуру аблированной плазмы; скорость осаждения покрытий, что определяется из толщины пленки полученной при одном импульсе при определенной плотности ионного тока. Также измерялись следующие параметры полученных покрытий: нанотвердость, модуль Юнга, адгезия, коэффициент трения и шероховатость.